走査露光装置

Scanning exposure device

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scanning exposure device which is simple in structure without provision of a correction optical system such as an fθ lens, but carries out exposure scanning with high quality. SOLUTION: The scanning exposure device is formed of: a beam light source unit 2 having a laser light source 3 and a liquid lens 4 converging laser light 20a emitted from the laser light source 3 to form laser light 20b; a polygon scanner 5 for deflecting the laser light 20b to scan an exposure surface 6; an image-formation location control section 12 for changing an image-formation location in an optical axis direction of the laser light 20b; and an exposure control means 8 for controlling light emission conditions of the laser light source 3 at every exposure zone. Herein the image-formation location control section 12 makes a spot diameter of the laser light 20b on the exposure surface 6 depending on a scanning location of the laser light 20b, and the exposure control means 8 emits light of a necessary exposure at every exposure zone. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
【課題】走査露光装置において、fθレンズなどの補正光学系を備えない簡素な構成でも高品質な露光走査を行うことができるようにする。 【解決手段】レーザ光源3とレーザ光源3から放射されたレーザ光20aを集束してレーザ光20bを形成する液体レンズ4とを有するビーム光源ユニット2と、レーザ光20bを偏向して露光面6に走査せしめるポリゴンスキャナ5と、レーザ光20bの光軸方向の結像位置を変更する結像位置制御部12と、レーザ光源3の発光条件を露光区間ごとに制御する露光制御手段8とを備え、結像位置制御部12によりレーザ光20bの走査位置に応じて露光面6上でのスポット径を略均一化するとともに、露光制御手段8により露光区間ごとに必要な露光量の照射を行う構成とする。 【選択図】図1

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