Condenser microphone and manufacturing method therefor

コンデンサマイクロホンとその製造方法

Abstract

【課題】 多数のコンデンサマイクロホンを一体化した積層集合体の切断工程におけるバリや剥がれの発生を防ぐと共に、摩擦熱の発生を抑制して高性能で信頼性に優れたコンデンサマイクロホンとその製造方法を提供する。 【解決手段】 多数の電気回路基板が一体化している集合電気回路基板16と、多数の背面電極基板が一体化している集合背面電極基板13と、多数のスペーサが一体化している集合スペーサ10と、多数の振動膜支持枠が一体化している集合振動膜支持枠1とをそれぞれ接合して積層集合体を構成し、この積層集合体は製品領域の境界線20x、20yに沿って切断されることにより、各小片が製品とされると共に、集合振動膜支持枠1は、製品領域の境界線20x、20yを中心にしてライン状の溝孔5が形成される構造とその製造方法とした。これにより、切断工程でのバリや剥がれの発生を防止出来る。 【選択図】 図1
<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a condenser microphone which prevents the occurrence of burrs and peeling-off, in the cutting process of a layered aggregate which is integrated with many condenser microphones, and has high performance and superior reliability by suppressing the generation of frictional heat. <P>SOLUTION: An assembled electric circuit board 16 integrated with many electric circuit boards, an assembled back electrode board 13 integrated with many back electrode boards, an assembled spacer 10 integrated with many spacers and an assembled vibration membrane support frame 1 integrated with many vibration membrane support frames are respectively connected to constitute a layered aggregate. The layered aggregate is cut off along boundary lines 20x and 20y of product areas to thereby make each small piece a product, and the assembled vibration membrane support frame 1 has a structure and its manufacturing method, in which line-shaped groove holes 5 centering on the boundary lines 20x and 20y of the product regions. Thus, the generation of burrs and peeling-off in the cutting process can be prevented. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

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    WO-2011024396-A1March 03, 2011スター精密株式会社Microphone à condensateur et procédé de fabrication de ce microphone
    WO-2011102104-A1August 25, 2011スター精密株式会社コンデンサマイクロホンおよびその製造方法